スパッタリングプロセスによる薄膜事業の　研究・開発・生産　をサポートします。

 　長期から短期まで各種コンサルティング業務

• プラスチック,ガラス、金属基板など
• 多品種少量生産、量産装置など
• 金属膜、化合物膜、傾斜膜、多層膜など
• 装置開発、改造、コストダウン,密着性,アーキング（異常放電）などのトラブル対策まで
• お気軽にご相談ください。

　　薄膜技術は、複雑な要因が絡み合って、何がその解決に必要なのか判断が難しいです。多くの経験をもとに、優先事項を絞り込み、短時間にて解決する道筋を提供します。

コンサルティング開始までのながれ

１、メールにてご連絡頂きます

初回の打ち合わせの日程、場所等についてご希望をお伝えください。

2，初回打ち合わせを行います。無料です。１時間程度

リモートあるいは電話などを用いた打ち合わせを行います。対面での打ち合わせの場合には、打ち合わせ場所までの交通費実費

を頂きます。

成膜プロセスに関しては、スパッタ以外にもイオンプレーティング、真空蒸着対応可能です。   

ご依頼内容についての概要確認、技術的見通しなどの協議を行ったうえで、コンサル回数の打ち合わせを行います。

3，コンサル開始

上記合意に至った場合には、契約書を交わしコンサル開始します。

必要に応じて秘密保持契約（NDA）、契約書を結びます。

現状のデータ、現場の装置、プロセスを確認しながら、コンサルを進めます。

 オープンイノベーションが注目されています。グローバル市場での競争の激化、消費者ニーズの早い変化に対応するために、従来型の自前主義の閉鎖的方法ではなく、必要な研究開発能力、技術、を広く外部市場から調達し効率的なイノベーションを目指すいわゆるオープンイノベーションが世界の潮流となってきています。これらの動きに、貢献することが、目標です。

スパッタリングの技術紹介

金属ターゲットを用いる金属膜や反応性スパッタでは、ロータリーカソードは有効ですし、新規機能膜の作成には、HIPIMS電源は、新しい可能性があります。スマホやディスプレーには、ロールコーターが不可欠な装置となります。また、近年の開発期間の短縮、ターゲット利用率の向上などの開発補助手段として、シミュレーションの活用が現実的な手段として利用が広がっています。

・当社へお問い合わせ頂いたメーカーの方からコンサル実績についてのお問い合わせが時々あります。

・コンサル業務は、信頼関係が重要ですので、個別の内容を開示するのはできませんが、概要のみお伝えできればと思います。

・現在まで、海外を含めますとおよそ３０社以上の大企業及び中堅メーカーのコンサルティングを行って参りました。

・業種も内容も多岐にわたっています。

・開業から22年たちました。だんだん難しいテーマも増えてきましたが、何とか解決策を見つけて、満足して頂いているという

　のが、仕事の支えとなっています。

・内容的には、密着性にかかわる膜剥がれ、クラック、アーキング対策、装置の入れ替えによる条件だし、長時間成膜中での膜　

　質変化対策、その他プロセスの最適化、コストダウンなどもあります。

コンサルの回数など

・コンサル回数ですが、トラブル内容、予算などにより多種多様です。

・コンサルを依頼いただいた場合には、内容をお伺いした日から、守秘協定を結びますのでご安心頂ければと思います。

・基本的には、装置を見ながら現場にてのお打ち合わせを行っております。

・短期（２～３回）のコンサルも歓迎しております。

・スパッタに限らず蒸着、薄膜などドライプロセスに係る技術でお困りの技術者のお手伝いが出来ればと心がけておりますの

　で、お気軽にご連絡ください。まずは、メールにて相談頂ければと思います。以下にアドレスとなります。

　　　　　　　　　earth-tech@r9.dion.ne.jp　　　　　　　　　　　　　　　

• 日刊工業新聞社：２００８年８月「現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ」の本を出版。３８４ページ　３１５０円（税込）　小島啓安著
• 真空ジャーナル：２００８年１月号（Vol116）に、特集記事「高速スパッタリング」の解説
• （株）情報機構：２００７年８月「ディスプレー光学部材における薄膜製造技術」に、「スパッタリングにおけるトラブル対策」執筆
• （株）技術情報協会：２００７年７月「ぬれと（超）撥水、（超）親水技術、そのコントロール」に、「大気圧プラズマ親水化処理によるＦＰＤ基板洗浄技術への応用」執筆
• コンバーテック　２００８年１０月号「現場に見るスパッタ法による薄膜化技術と応用」　　など執筆掲載
• （株）技術情報協会２００９年１月「スパッタ実務Ｑ＆Ａ集」　反応性スパッタ、ターゲットなどに関するＱ＆Ａ執筆
• 加工技術研究会　２００９年１０月　「新コーティングのすべて」に　「現場に見るスパッタ法による薄膜化技術と応用」執筆
• シーエムシー出版　２０１１年３月「ロールtoロール技術の最新動向」に「ロールtoロールスパッタプロセスにおける成膜速度の向上」執筆
• シーエムシー出版　２０１１年４月　「最新ガスバリア薄膜技術」に「反応性高速スパッタ技術」執筆
• サイエンス＆テクノロジー　２０１２年８月「フィルム加工トラブル対策技術」に「スパッタリングにおける成膜過程の問題」執筆
• （株）技術情報協会２０１３年４月「フィルム成型・加工とトラブル対策」に「ロールtoロールプロセスにおける成膜速度向上と膜欠陥への対策」執筆
• （株）技術情報協会２０１３年６月「光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」に「反応性高速スパッタ法による光学薄膜の作製技術と膜質制御」執筆
• 表面技術協会２０１３年７月特集「最近のスパッタリング動向」に「低ダメージのためのロータリーカソード技術と高速成膜技術」を執筆
• 日刊工業新聞社：２０１５年２月「現場のスパッタリング薄膜Q&A」第２版を出版。４３７ページ　３５６０円（税込）
• 表面技術協会２０１６年１２月特集「車載用カメラの反射防止膜技術」を執筆
• 表面技術協会２０１７年１２月特集「最新のPVD技術」執筆　

　　　                                 ＊＊＊＊＊＊＊　河津バガテル公園の秋バラです。＊＊＊＊＊＊＊

　　　　　　　　　　　　　　河津町は、伊豆の中でも南に位置していて温暖な気候です。冬の２月に咲く河津桜

　　　　　　　　　　　　　　が有名ですが、バガテル公園の春、秋バラも美しいです。癒されますね。

　　　　　　　　　　　　　　ちょっと一服してください

今回のテーマ は「薄膜の内部応力」です。

前回は、スパッタに関する技術用語の１回目として「アーキング（異常放電）」を取り上げました。今回は、２回目として「薄膜の内部応力」についてです。基本的には、「現場のスパッタリング薄膜Q＆A 第２版」　をベースにしております。

一般的には、内部応力を下げることにより、膜剥がれなどの対策を行いますが、ハードコートのような硬さが必要な膜の場合には、内部応力を増加して対応する場合もあります。　興味がある方は、ブログにお立ち寄りください。